Artikelnummer

• Integrierter, programmierbarer Ladungs-Spannungs-Umsetzer
• insbesondere für Oberflächenmikromechanik (MEMS) geeignet
• analoger Spannungsausgang
• programmierbarer Ausgangsverstärker für Verstärkung und Offset
• zusätzlicher Mehrzweckverstärker (Sensorsignalfilterung und
  Vorverstärker)
• 4-Draht-Schnittstelle für Konfiguration über Mikrocontroller

Artikelnummer

PR-00023-00

• insbesondere für BULK-Mikromechanik geeignet
• analoger Spannungsausgang

Der Kapazitäts/Spannungs-Wandler CVC_2.0 ist für die Umwandlung der Messdaten von kapazitiven Sensoren geeignet. Der ASIC wurde ursprünglich für kapazitive Neigungssensoren entwickelt. Seine Universalität ermöglicht überall dort einen Einsatz, bei denen kleinste Kapazitätsschwankungen zu detektieren und in eine proportionale analoge Spannungsänderung zu verwandeln sind. Das wesentlichste Merkmal des ASIC sind seine beiden vollständig voneinander getrennten Kanäle, wodurch er sich bestens für zweidimensionale Messungen bzw. Regelung eignet. Zum Betrieb ist eine minimale äußere Beschaltung erforderlich: ein RC Glied für den internen Taktgenerator und jeweils pro Kanal ein externer Integrationskondensator zur Messbereichsanpassung (falls der interne zu klein ist) und zwei Widerstände zur Offsetkompensation von Sensor und Schaltung. Zur besseren Anpassung an nachfolgende Schaltungen sind die internen Takte und ein zusätzlicher OPV pro Kanal von außen frei verfügbar.

Artikelnummer

IC-03000-00

Die Auswerteschaltung HT133 ist ein integrierter CMOS- Schaltkreis zur Messung kleiner Kapazitätsdifferenzen bis in den Attofaradbereich. Die Schaltung ist deshalb besonders für die Auswertung von mikromechanischen Neigungs- und Beschleunigungssensoren geeignet. Bei Verwendung der zwei internen Referenzkondensatoren ergeben sich Auflösungen von ca. 2 Femtofarad (2*10 15 F) im 4pF-Meßbereich bzw. 160 Attofarad im 0,32pF-Meßbereich („Messbereichslupe“). Durch externe Beschaltung kann der zur Verfügung stehende Messbereich leicht erweitert werden.
Der HT133 besitzt einen internen Oszillator, der mit einem externen Widerstand abgeglichen werden kann. Die kürzeste Messzeit beträgt ca. 50 sec. Komplette Systeme können aufgrund des integrierten Taktgebers mit wenigen externen Bauteilen realisiert werden.
Der in der Praxis immer vorhandene Offset des Sensors kann durch Variieren der Messspannung kompensiert werden.
Die Stromaufnahme beträgt bei 5V Versorgungsspannung etwa 1.5mA. Für einen eventuellen Batteriebetrieb wurde ein Power-Down-Mode implementiert. Die Schaltung arbeitet im Temperaturbereich von -40°C bis 125°C. Die auftretende Temperaturdrift liegt unterhalb der Auflösung (abhängig vom Gehäuse).